Для цитирования:

Билалов Б.А., Гусейнов М.К., Сафаралиев Г.К. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ПЛЕНОК ТВЕРДОГО РАСТВОРА (SiC)1-x(AlN)x, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ. Вестник Дагестанского государственного технического университета. Технические науки. 2015;38(3):15-20. https://doi.org/10.21822/2073-6185-2015-38-3-15-20

For citation:

Bilalov B.A., Gusejnov M.K., Safaraliev G.K. RESEARCH OF STRUCTURE AND COMPOSITION OF FILMS SOLID SOLUTION (SIC)1-X (ALN)X, RECEIVED BY METHOD MAGNETRON DEPOSITION. Herald of Dagestan State Technical University. Technical Sciences. 2015;38(3):15-20. (In Russ.) https://doi.org/10.21822/2073-6185-2015-38-3-15-20