ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ПЛЕНОК ТВЕРДОГО РАСТВОРА (SiC)1-x(AlN)x, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ
https://doi.org/10.21822/2073-6185-2015-38-3-15-20
Аннотация
Методом магнетронного распыления поликристаллических мишеней SiC-AlN на подложках SiC и Al2O3 получены тонкие пленки твердого раствора (SiC)1-x(AlN)x.Методами рентгенографии и электронной микроскопии проведены исследования структуры и состава этих пленок. Установлены факторы, определяющие состав и структуру пленок, а также условия формирования монокристаллических пленок (SiC)1-x(AlN)x на подложках SiC. Рассчитаны основные технологические параметры процесса магнетронного осаждения пленок (SiC)1-x(AlN)x.
Об авторах
Б. А. Билалов
ФГБОУ ВО «Дагестанский государственный технический университет», г. Махачкала
Россия
Россия
факультет радиоэлектроники, телекоммуникаций и мультимедийных технологий
кафедра микроэлектроники
доктор физико-математических наук, профессор
М. К. Гусейнов
ФГБОУ ВО «Дагестанский государственный технический университет», г. Махачкала
Россия
Россия
факультет радиоэлектроники телекоммуникаций и мультимедийных технологий
кафедра физики
кандидат физико-математических наук, старший преподаватель
Г. К. Сафаралиев
НИИ «Микроэлектроники и нанотехнологий», ФГБОУ ВО «Дагестанский государственный технический университет», г. Махачкала
Россия
доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент РАН, научный руководитель
Россия
доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент РАН, научный руководитель
Список литературы
1. Нурмагомедов Ш.А., Сорокин Н.Д., Сафаралиев Г.К., Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. //Изв. АН СССР. Неорг. Мат-лы. Т.22, Вып. 10, с.1872-1874 (1986).
2. Сафаралиев Г.К., Курбанов М.К., Офицерова Н.В., Таиров Ю.М.. Изв. РАН. Неорг. матер., № 6. (1995).
3. Ласка В.Л., Митрофанов А.П., Карманенко С.Ф.// Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1985. В.1 (106), 101 с.
Рецензия
Для цитирования:
Билалов Б.А., Гусейнов М.К., Сафаралиев Г.К. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ПЛЕНОК ТВЕРДОГО РАСТВОРА (SiC)1-x(AlN)x, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ. Вестник Дагестанского государственного технического университета. Технические науки. 2015;38(3):15-20. https://doi.org/10.21822/2073-6185-2015-38-3-15-20
For citation:
Bilalov B.A., Gusejnov M.K., Safaraliev G.K. RESEARCH OF STRUCTURE AND COMPOSITION OF FILMS SOLID SOLUTION (SIC)1-X (ALN)X, RECEIVED BY METHOD MAGNETRON DEPOSITION. Herald of Dagestan State Technical University. Technical Sciences. 2015;38(3):15-20. (In Russ.) https://doi.org/10.21822/2073-6185-2015-38-3-15-20
Просмотров: 532
Послать статью по эл. почте 
