ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ПЛЕНОК ТВЕРДОГО РАСТВОРА (SiC)1-x(AlN)x, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ


https://doi.org/10.21822/2073-6185-2015-38-3-15-20

Полный текст:


Аннотация

Методом магнетронного распыления поликристаллических мишеней SiC-AlN на подложках SiC и Al2O3 получены тонкие пленки твердого раствора (SiC)1-x(AlN)x.Методами рентгенографии и электронной микроскопии проведены исследования структуры и состава этих пленок. Установлены факторы, определяющие состав и структуру пленок, а также условия формирования монокристаллических пленок (SiC)1-x(AlN)x на подложках SiC. Рассчитаны основные технологические параметры процесса магнетронного осаждения пленок (SiC)1-x(AlN)x. 


Об авторах

Б. А. Билалов
ФГБОУ ВО «Дагестанский государственный технический университет», г. Махачкала
Россия

факультет радиоэлектроники, телекоммуникаций и мультимедийных технологий

кафедра микроэлектроники

доктор физико-математических наук, профессор 



М. К. Гусейнов
ФГБОУ ВО «Дагестанский государственный технический университет», г. Махачкала
Россия

факультет радиоэлектроники телекоммуникаций и мультимедийных технологий 

кафедра физики

кандидат физико-математических наук, старший преподаватель 



Г. К. Сафаралиев
НИИ «Микроэлектроники и нанотехнологий», ФГБОУ ВО «Дагестанский государственный технический университет», г. Махачкала
Россия
доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент РАН, научный руководитель


Список литературы

1. Нурмагомедов Ш.А., Сорокин Н.Д., Сафаралиев Г.К., Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. //Изв. АН СССР. Неорг. Мат-лы. Т.22, Вып. 10, с.1872-1874 (1986).

2. Сафаралиев Г.К., Курбанов М.К., Офицерова Н.В., Таиров Ю.М.. Изв. РАН. Неорг. матер., № 6. (1995).

3. Ласка В.Л., Митрофанов А.П., Карманенко С.Ф.// Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1985. В.1 (106), 101 с.


Дополнительные файлы

Для цитирования: Билалов Б.А., Гусейнов М.К., Сафаралиев Г.К. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ПЛЕНОК ТВЕРДОГО РАСТВОРА (SiC)1-x(AlN)x, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ. Вестник Дагестанского государственного технического университета. Технические науки. 2015;38(3):15-20. https://doi.org/10.21822/2073-6185-2015-38-3-15-20

For citation: Bilalov B.A., Gusejnov M.K., Safaraliev G.K. RESEARCH OF STRUCTURE AND COMPOSITION OF FILMS SOLID SOLUTION (SIC)1-X (ALN)X, RECEIVED BY METHOD MAGNETRON DEPOSITION. Herald of Dagestan State Technical University. Technical Sciences. 2015;38(3):15-20. (In Russ.) https://doi.org/10.21822/2073-6185-2015-38-3-15-20

Просмотров: 173

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2073-6185 (Print)
ISSN 2542-095X (Online)