Для цитирования:

Исмаилов Т.А., Захарова П.Р., Шангереева Б.А., Шахмаева А.Р. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК SIO2. Вестник Дагестанского государственного технического университета. Технические науки. 2014;35(4):56-62. https://doi.org/10.21822/2073-6185-2014-35-4-56-62

For citation:

Ismailov T.A., Zakharova P.R., Shangereeva B.A., Shakhmaeva A.R. RESEARCH PROCESS PLASMA ETCHING SIO2 MEMBRANE. Herald of Dagestan State Technical University. Technical Sciences. 2014;35(4):56-62. (In Russ.) https://doi.org/10.21822/2073-6185-2014-35-4-56-62