Для цитирования:

Шангереева Б.А. ОСНОВНЫЕ МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ ОКИСНЫХ СЛОЕВ В ИЗГОТОВЛЕНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИС. Вестник Дагестанского государственного технического университета. Технические науки. 2013;29(2):26-33. https://doi.org/10.21822/2073-6185-2013-29-2-26-33

For citation:

Shangereeva B.A. THE MAIN METHODS OF FORMATION OF OXIDE LAYERS IN THE PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES AND IP. Herald of Dagestan State Technical University. Technical Sciences. 2013;29(2):26-33. (In Russ.) https://doi.org/10.21822/2073-6185-2013-29-2-26-33